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顯微鏡光切法的工作原理
日期：2025-05-07 04:58
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摘要：
顯微鏡光切法的工作原理，光切法是利用光切原理來測量表麵粗糙度的方法, 它將一束平行光帶以一定角度投射與被測表麵上,光帶與表麵輪廓相交的曲線影像即反映了被測表麵的微觀幾何形狀, 解決了工件表麵微小峰穀深度的測量問題, 避免了與被測表麵的接觸。由於它采用了光切原理, 所以可測表麵的輪廓峰穀的*大和*小高度,要受物鏡的景深和鑒彆率的限製。峰穀高度超出一定的範圍, 就不能在目鏡視場中成清晰的真實圖像而導致無法測量或者測量誤差很大。但由於該方法成本低、易於操作, 所以還在被廣泛應用。 光切法屬於非接觸性測量粗糙度。包括：光切法、實時全息法、散斑法、像散測定法、光外差乾涉法、A FM 法、光學傳感器法等。
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