新聞詳情

高性能矽電容壓力傳感器******

日期：2025-05-07 23:49

瀏覽次數：1499

摘要：

高性能矽電容壓力傳感器******。國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術產業發展計劃項目“高性能矽電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。

該項目采用**的微電子和微機械加工相結合的工藝技術，在矽電容傳感器設計、製造工藝技術、傳感器封裝結構等方麵具有**性，解決了矽電容傳感器研製的工藝技術難題，開發研製出完全擁有自主知識產權的新型高性能矽電容差壓傳感器產品，產品精度*於0.075%FS，技術水平達到國內**、國際**。

項目建成了年生產能力一萬台的矽電容差壓傳感器生產線，實現了產品的係列化生產，並**實現智能變送器產品核心傳感器的國產化配套，打破了國外的技術封鎖，*******。同時，作為上遊核心器件，該項研究帶動了傳感器、變送器及相關儀表產業的發展，解決了有表無芯的問題，有效地支撐了**裝備製造產業鏈建設。